Некоторые вопросы взаимодействия ионизированных газов с поверхностью кремния: Автореф. дис. на соискание учен. степени канд. техн. наук: (298) / Воронеж. политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Грицюс, А. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1972 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr34037630000 | ||
| 005 | 20070727151919.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070727d1972 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Некоторые вопросы взаимодействия ионизированных газов с поверхностью кремния $e Автореф. дис. на соискание учен. степени канд. техн. наук $e (298) $f Воронеж. политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1972 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с 18-19 (7 назв.). Список лит.: с. 20 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 298 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Грицюс $b А. А. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070727 $g psbo |