Электрические и оптические свойства композитных пленок SiO2, обогащенных Si, и перспективы их применения в элементах микроэлектроники: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Ин-т радиотехники и электрон.

Сохранено в:
Шифр документа: 91538/88,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Григорян, Л. Н.
Опубликовано: М. , 1988
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr33993990000
005 20230726113514.0
021 # # $a RU  $b [89-532а] 
100 # # $a 20070727d1988 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Электрические и оптические свойства композитных пленок SiO2, обогащенных Si, и перспективы их применения в элементах микроэлектроники  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $f АН СССР, Ин-т радиотехники и электрон. 
210 # # $a М.  $d 1988 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 19-20 (6 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Григорян  $b Л. Н.  $g Лева Назаретович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070727  $g psbo