Влияние облучения ионизированными атомными частицами на параметры диффузионных слоев и состояние поверхности кремния: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ225125,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Григонис, А. И.
Опубликовано: Воронеж , 1973
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr33951370000
005 20070727150621.0
021 # # $a RU  $b [74-2141а] 
100 # # $a 20070727d1973 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Влияние облучения ионизированными атомными частицами на параметры диффузионных слоев и состояние поверхности кремния  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук  $f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола 
210 # # $a Воронеж  $d 1973 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a Список работ авт.: с. 19-20 (18 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Григонис  $b А. И.  $g Альфонсас Изидоряус 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070727  $g psbo