Высокоразрешающая неорганическая фотолитография / И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк

Сохранено в:
Шифр документа: М247151, АУ641338,
Вид документа: Книги
Автор: Гранкин, И. М.
Опубликовано: Киев : Вища шк. Изд-во при Киев. ун-те , 1983
Физические характеристики: 53 с. : ил. ; 20 см
Язык: Русский
Серия: Ученые вузов ― пр-ву
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr33885330000
005 20101118122624.0
010 # # $d 45 к. 
021 # # $a RU  $b [83-65509] 
100 # # $a 20070720d1983 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a UA 
200 1 # $a Высокоразрешающая неорганическая фотолитография  $f И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк 
210 # # $a Киев  $c Вища шк. Изд-во при Киев. ун-те  $d 1983 
215 # # $a 53 с.  $c ил.  $d 20 см 
225 2 # $a Ученые вузов ― пр-ву 
300 # # $a Библиогр.: с. 49―52 (45 назв.) 
345 # # $9 1000 экз. 
610 0 # $a Фотолитография 
610 0 # $a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство 
675 # # $a 621.382.049.77.002 
700 # 1 $a Гранкин  $b И. М.  $g Илья Михайлович 
701 # 1 $a Коломейко  $b А. В.  $g Анатолий Викторович 
701 # 1 $a Погребняк  $b В. П.  $g Виталий Петрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070720  $g psbo