Модели и методы диагностики технологического процесса производства БИС средствами САПР: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.12) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Гранат, П. П. |
Опубликовано: | Л. , 1990 |
Физические характеристики: |
16 с.
|
Язык: | Русский |
00000cam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr33881290000 | ||
005 | 20240626152954.0 | ||
100 | # | # | $a 20070720d1990 y0rusy50 ||||ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Модели и методы диагностики технологического процесса производства БИС средствами САПР $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.12) $f Ленингр. ин-т точ. механики и оптики |
210 | # | # | $a Л. $d 1990 |
215 | # | # | $a 16 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-16 (18 назв.) |
686 | # | # | $a 05.13.12 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Гранат $b П. П. $g Петр Петрович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |