Оптические системы дая изготовления микроэлектронных схем и приборов: Автореф. дис. на соискание учен. степени д-ра техн. наук: (01.04.05) / Гос. оптический ин-т им. С. И. Вавилова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Грамматин, А. П. |
| Опубликовано: | Л. , 1974 |
| Физические характеристики: |
38 с.; 1 л. ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||