Оптические системы дая изготовления микроэлектронных схем и приборов: Автореф. дис. на соискание учен. степени д-ра техн. наук: (01.04.05) / Гос. оптический ин-т им. С. И. Вавилова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Грамматин, А. П. |
| Опубликовано: | Л. , 1974 |
| Физические характеристики: |
38 с.; 1 л. ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33879870000 | ||
| 005 | 20070720190322.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070720d1974 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Оптические системы дая изготовления микроэлектронных схем и приборов $e Автореф. дис. на соискание учен. степени д-ра техн. наук $e (01.04.05) $f Гос. оптический ин-т им. С. И. Вавилова |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1974 |
| 215 | # | # | $a 38 с.; 1 л. ил. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 37-38 (20 назв.). Для служебного пользования |
| 686 | # | # | $a 01.04.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Грамматин $b А. П. $g Александр Пантелеймонович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |