Исследование приповерхностных слоев структур микроэлектроники методами растровой электронной микроскопии: (01.04.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак.
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гостев, А. В. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
11 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33848800000 | ||
| 005 | 20070720184632.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [87-3946а] |
| 100 | # | # | $a 20070720d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование приповерхностных слоев структур микроэлектроники методами растровой электронной микроскопии $e (01.04.04) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f МГУ им. М. В. Ломоносова, Физ. фак. |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 11 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 10-11 (13 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Гостев $b А. В. $g Александр Владимирович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |