Разработка и исследование кассет для процессов вплавления в полупроводниковом производстве: (02.12): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Городилов, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 1972 |
| Физические характеристики: |
29 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||