Разработка и исследование кассет для процессов вплавления в полупроводниковом производстве: (02.12): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Городилов, А. А. |
| Опубликовано: | М. , 1972 |
| Физические характеристики: |
29 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33793060000 | ||
| 005 | 20070720183823.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [72-26149а] |
| 100 | # | # | $a 20070720d1972 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование кассет для процессов вплавления в полупроводниковом производстве $e (02.12) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Моск. ин-т электронного машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1972 |
| 215 | # | # | $a 29 с. |
| 686 | # | # | $a 02.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Городилов $b А. А. $g Альберт Алексеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |