|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr33597030000 |
| 005 |
20231218102637.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 61 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [75-7722]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070720d1975 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 209 с.
$c ил.
$d 22 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 203-207 (90 назв.). Перед загл. авт.: И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров
|
| 345 |
# |
# |
$9 10000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar14591121
$a Голото
$b И. Д.
$g Иван Данилович
$c кандидат технических наук
|
| 701 |
# |
1 |
$a Докучаев
$b Б. П.
$g Борис Павлович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Колмогоров
$b Г. Д.
$g Георгий Дмитриевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070720
$g psbo
|
