|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr33435260000 |
| 005 |
20230105145327.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 21 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [75-62443]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070720d1975 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Сов. радио
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 73 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера. Электроника
|
| 300 |
# |
# |
$a Список лит.: с. 69―72 (83 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 12300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотошаблоны для интегральных схем - Производство - Оборудование
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы, интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.047.77.002.5
|
| 700 |
# |
1 |
$a Глазков
$b И. М.
$g Илья Михайлович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070720
$g psbo
|
