Исследование и разработка технологии пьезокварцевых детекторов непрерывного контроля физико-химических параметров парогазовых сред, применяемых в технологии микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.11) / Моск. ин-т электронной техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Гладков, Ю. И. |
| Опубликовано: | М. , 1977 |
| Физические характеристики: |
31 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33427210000 | ||
| 005 | 20070720133433.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070720d1977 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка технологии пьезокварцевых детекторов непрерывного контроля физико-химических параметров парогазовых сред, применяемых в технологии микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.12.11) $f Моск. ин-т электронной техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1977 |
| 215 | # | # | $a 31 с. |
| 300 | # | # | $a Библиография: с. 31 (5 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.11 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Гладков $b Ю. И. $g Юрий Иванович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070720 $g psbo |