Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.03) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Герасимов, Р. Б. |
| Опубликовано: | Л. , 1988 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||