Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.03) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики

Сохранено в:
Шифр документа: 123177/88,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Герасимов, Р. Б.
Опубликовано: Л. , 1988
Физические характеристики: 13 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr33301870000
005 20070719202256.0
100 # # $a 20070719d1988 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (05.27.03)  $f Ленингр. ин-т точ. механики и оптики 
210 # # $a Л.  $d 1988 
215 # # $a 13 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 13 (5 назв.) 
686 # # $a 05.27.03  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Герасимов  $b Р. Б.  $g Румен Боянов 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070719  $g psbo