Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.03) / Ленингр. ин-т точ. механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Герасимов, Р. Б. |
| Опубликовано: | Л. , 1988 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33301870000 | ||
| 005 | 20070719202256.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070719d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Лазерная локальная кристаллизация поликристаллического кремния на аморфной диэлектрической подложке $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (05.27.03) $f Ленингр. ин-т точ. механики и оптики |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 13 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 13 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.03 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Герасимов $b Р. Б. $g Румен Боянов |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070719 $g psbo |