Сканирующая лазерная интроскопия полупроводниковых структур: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Рос. АН, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Фролов, К. К. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1992 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33140900000 | ||
| 005 | 20070717203407.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070717d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Сканирующая лазерная интроскопия полупроводниковых структур $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $e (05.27.01) $f Рос. АН, Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов |
| 210 | # | # | $a Черноголовка $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 14 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Фролов $b К. К. $g Константин Константинович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070717 $g psbo |