Моделирование кремниевых структур в эллипсометрии: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН ССР Молдова, Ин-т прикл. физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Фрейвалде, И. Р. |
| Опубликовано: | Кишинев , 1990 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr33099460000 | ||
| 005 | 20070717202514.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [90-19729а] |
| 100 | # | # | $a 20070717d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a MD |
| 200 | 1 | # | $a Моделирование кремниевых структур в эллипсометрии $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН ССР Молдова, Ин-т прикл. физики |
| 210 | # | # | $a Кишинев $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-16 (17 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Фрейвалде $b И. Р. $g Илзе Рихардовна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070717 $g psbo |