Исследование возможностей автоматизированного контроля топологии и функционирования элементов микроэлектроники в растровом электронном микроскопе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Ленингр. электротехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Фельдман, Г. П. |
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||