Исследование возможностей автоматизированного контроля топологии и функционирования элементов микроэлектроники в растровом электронном микроскопе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Ленингр. электротехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Фельдман, Г. П. |
| Опубликовано: | Л. , 1987 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32886200000 | ||
| 005 | 20070717185948.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070717d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование возможностей автоматизированного контроля топологии и функционирования элементов микроэлектроники в растровом электронном микроскопе $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.07) $f Ленингр. электротехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 13 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 12-13 (7 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Фельдман $b Г. П. $g Геннадий Петрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070717 $g psbo |