Роль состояния поверхности в производстве полупроводниковых приборов

Сохранено в:
Шифр документа: АУ75767,
Вид документа: Книги
Автор: Файнштейн, С. М.
Опубликовано: Л. М. : Госэнергоиздат , 1961
Физические характеристики: 111 с. : илл. ; 20 см
Язык: Русский
Предмет:
00000nam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr32738780000
005 20070716153059.0
010 # # $d 33 к. 
021 # # $a RU  $b [61-60747] 
100 # # $a 20070716d1961 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Роль состояния поверхности в производстве полупроводниковых приборов 
210 # # $a Л.  $a М.  $c Госэнергоиздат  $d 1961 
215 # # $a 111 с.  $c илл.  $d 20 см 
300 # # $a Библиогр.: с. 105-110 (185 назв.) 
345 # # $9 8000 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Качество поверхности 
610 0 # $a Полупроводниковые приборы - Производство 
700 # 1 $a Файнштейн  $b С. М.  $g Семен Меерович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070716  $g psbo