|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr32738770000 |
| 005 |
20070716153059.0 |
| 010 |
# |
# |
$b В пер.
$d 82 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [66-22777]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070716d1966 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Обработка поверхности полупроводниковых приборов
|
| 205 |
# |
# |
$a [2-е переработ. и доп. изд.]
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$a М.
$c Энергия
$d 1966
|
| 215 |
# |
# |
$a 256 с.
$c илл.
$d 21 см
|
| 300 |
# |
# |
$a 1-е изд. вышло под загл.: Роль состояния поверхности в производстве полупроводниковых приборов. Библиогр.: с. 248-256 (258 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 6500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроподники - Качество поверхности
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382:539.293
|
| 700 |
# |
1 |
$a Файнштейн
$b С. М.
$g Семен Меерович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070716
$g psbo
|
