Разработка и исследование электронно-лучевых испарителей для вакуумных напылительных установок: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / МВТУ им. Н. Э. Баумана
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ульянов, В. Ф. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr32576910000 | ||
| 005 | 20070716145837.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070716d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование электронно-лучевых испарителей для вакуумных напылительных установок $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.07) $f МВТУ им. Н. Э. Баумана |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Ульянов $b В. Ф. $g Владимир Федорович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070716 $g psbo |