Разработка и исследование способов повышения качества лезвийной обработки в технологии полупроводниковых приборов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Моск. ин-т электрон. техники

Сохранено в:
Шифр документа: 89604/89СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Тихонов, И. Н.
Опубликовано: М. , 1989
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr32099130000
005 20070704194843.0
100 # # $a 20070704d1989 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Разработка и исследование способов повышения качества лезвийной обработки в технологии полупроводниковых приборов  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.27.06)  $f Моск. ин-т электрон. техники 
210 # # $a М.  $d 1989 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 21-22 (16 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Тихонов  $b И. Н.  $g Игорь Николаевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070704  $g psbo