Разработка и исследование статистических методов и алгоритмов анализа технологических процессов производства интегральных схем (ПС) с применением ЭЦВМ: (05.13.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Талалай, А. М. |
| Опубликовано: | М. , 1973 |
| Физические характеристики: |
34 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31780490000 | ||
| 005 | 20070704190517.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [73-13436а] |
| 100 | # | # | $a 20070704d1973 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование статистических методов и алгоритмов анализа технологических процессов производства интегральных схем (ПС) с применением ЭЦВМ $e (05.13.13) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Моск. ин-т электронного машиностроения |
| 210 | # | # | $a М. $d 1973 |
| 215 | # | # | $a 34 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 32-34 (12 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Талалай $b А. М. $g Александр Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070704 $g psbo |