Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Моск. ин-т стали и сплавов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Султанов, М. А. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
24 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||