Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Моск. ин-т стали и сплавов

Сохранено в:
Шифр документа: 103361/89,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Султанов, М. А.
Опубликовано: М. , 1989
Физические характеристики: 24 с. : граф.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr31613550000
005 20070629165757.0
021 # # $a RU  $b [89-10629а] 
100 # # $a 20070629d1989 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Механизм формирования текстуры, зеренной и субзеренной структуры поликристаллических пленок кремния, получаемых осаждением из газовой фазы  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $f Моск. ин-т стали и сплавов 
210 # # $a М.  $d 1989 
215 # # $a 24 с.  $c граф. 
300 # # $a Библиогр.: с. 23-24 (6 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Султанов  $b М. А.  $g Марат Абдыразакович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070629  $g psbo