Исследование локально-ускоренного термического оксидирования кремния, германия и арсенида галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.17.14)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Струков, В. М. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31539070000 | ||
| 005 | 20070629164025.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070629d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование локально-ускоренного термического оксидирования кремния, германия и арсенида галлия $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.17.14) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 19-20 (23 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.17.14 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Струков $b В. М. $g Вячеслав Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070629 $g psbo |