Локальный электрохимический анализ пленочных элементов микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.02) / Моск. ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Стифатов, Б. М. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31458390000 | ||
| 005 | 20070629162126.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070629d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Локальный электрохимический анализ пленочных элементов микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $e (02.00.02) $f Моск. ин-т тонкой хим. технологии им. М. В. Ломоносова |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (10 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.02 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Стифатов $b Б. М. $g Борис Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070629 $g psbo |