Исследование и разработка автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Степанов, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1979 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31406770000 | ||
| 005 | 20070628184054.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070628d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка автоматических линий для промышленных фотолитографических комплексов $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.02.12) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 24 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения. Библиогр.: с. 22-24 (15 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.02.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Степанов $b В. В. $g Валерий Васильевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070628 $g psbo |