Исследование структуры поверхности германия и кремния методами эллипсометрии и дифракции электронов при эпитаксии из молекулярного пучка: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников

Сохранено в:
Шифр документа: 129418/90,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Соколов, Л. В.
Опубликовано: Новосибирск , 1990
Физические характеристики: 16 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr31083870000
005 20070621144456.0
021 # # $a RU  $b [90-22501а] 
100 # # $a 20070621d1990 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование структуры поверхности германия и кремния методами эллипсометрии и дифракции электронов при эпитаксии из молекулярного пучка  $e (01.04.07)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников 
210 # # $a Новосибирск  $d 1990 
215 # # $a 16 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 15-16 (13 назв.) 
686 # # $a 01.04.07  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Соколов  $b Л. В.  $g Леонид Валентинович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070621  $g psbo