Технология многослойных структур для микроэлектроники: Учеб. пособие для курсового проектирования для студентов спец. 0643, 0604

Сохранено в:
Шифр документа: 73702,
Вид документа: Книги
Автор: Соколов, И. А.
Опубликовано: М. , 1984
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr31081610000
005 20150903140653.0
010 # # $d 20 к. 
021 # # $a RU  $b [85-49765] 
100 # # $a 20070621d1984 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Технология многослойных структур для микроэлектроники  $e Учеб. пособие для курсового проектирования для студентов спец. 0643, 0604 
210 # # $a М.  $d 1984 
300 # # $a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов. Раздел: Выращивание кристаллов для подложек, газофазная и газофазная эпитаксия. 116 с. Библиогр.: с. 112-113 (15 назв.) 
345 # # $9 287 экз. 
610 0 # $a Полупроводники - Производство 
675 # # $a 621.315.592.002(075.8) 
700 # 1 $a Соколов  $b И. А.  $g Игорь Александрович 
701 # 1 $a Крапухин  $b В. В.  $g Всеволод Валерьянович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070621  $g psbo