|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr31081610000 |
| 005 |
20150903140653.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-49765]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070621d1984 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология многослойных структур для микроэлектроники
$e Учеб. пособие для курсового проектирования для студентов спец. 0643, 0604
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1984
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов. Раздел: Выращивание кристаллов для подложек, газофазная и газофазная эпитаксия. 116 с. Библиогр.: с. 112-113 (15 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 287 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Соколов
$b И. А.
$g Игорь Александрович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Крапухин
$b В. В.
$g Всеволод Валерьянович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070621
$g psbo
|
