|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr31081610000 |
005 |
20150903140653.0 |
010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-49765]
|
100 |
# |
# |
$a 20070621d1984 y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Технология многослойных структур для микроэлектроники
$e Учеб. пособие для курсового проектирования для студентов спец. 0643, 0604
|
210 |
# |
# |
$a М.
$d 1984
|
300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов. Раздел: Выращивание кристаллов для подложек, газофазная и газофазная эпитаксия. 116 с. Библиогр.: с. 112-113 (15 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 287 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Производство
|
675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002(075.8)
|
700 |
# |
1 |
$a Соколов
$b И. А.
$g Игорь Александрович
|
701 |
# |
1 |
$a Крапухин
$b В. В.
$g Всеволод Валерьянович
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070621
$g psbo
|