Теоретические основы технологии полупроводниковых материалов: Раздел : Расчеты процессов полупроводниковой технологии : Учеб. пособие для практ. занятий для студентов спец. 20.02 / Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов

Сохранено в:
Шифр документа: 251744,
Вид документа: Книги
Автор: Соколов, И. А.
Опубликовано: М. , 1988
Физические характеристики: 140 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ib4500
001 BY-NLB-rr31081570000
005 20190422094652.0
010 # # $d 26 к. 
021 # # $a RU  $b [88-72906] 
100 # # $a 20070621d1988 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Теоретические основы технологии полупроводниковых материалов  $e Раздел : Расчеты процессов полупроводниковой технологии : Учеб. пособие для практ. занятий для студентов спец. 20.02  $f Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов 
210 # # $a М.  $d 1988 
215 # # $a 140 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 140 (15 назв.) 
345 # # $9 350 экз. 
610 0 # $a Полупроводниковые материалы 
675 # # $a 621.315.592(075.8) 
700 # 1 $a Соколов  $b И. А.  $g Игорь Александрович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070621  $g psbo