|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
001 |
BY-NLB-rr31081570000 |
005 |
20190422094652.0 |
010 |
# |
# |
$d 26 к.
|
021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-72906]
|
100 |
# |
# |
$a 20070621d1988 y0rusy50 ||||ca
|
101 |
0 |
# |
$a rus
|
102 |
# |
# |
$a RU
|
200 |
1 |
# |
$a Теоретические основы технологии полупроводниковых материалов
$e Раздел : Расчеты процессов полупроводниковой технологии : Учеб. пособие для практ. занятий для студентов спец. 20.02
$f Гос. ком. СССР по нар. образованию, Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
|
210 |
# |
# |
$a М.
$d 1988
|
215 |
# |
# |
$a 140 с.
|
300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 140 (15 назв.)
|
345 |
# |
# |
$9 350 экз.
|
610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые материалы
|
675 |
# |
# |
$a 621.315.592(075.8)
|
700 |
# |
1 |
$a Соколов
$b И. А.
$g Игорь Александрович
|
801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070621
$g psbo
|