|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr31074480000 |
| 005 |
20220311153802.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070622d1986 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Деградационнные явления при производстве кремниевых планарных приборов, обусловленные взаимодействием и перераспределением точечных дефектов
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук
$e (01.04.10)
$f АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
|
| 210 |
# |
# |
$a Л.
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 31 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 27-31 (41 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Соколов
$b В. И.
$g Владимир Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070622
$g psbo
|
