Алгоритмизация этапа отработки технологического процесса напыления тонких пленок в производстве гибридных интегральных схем РЭА: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Снедков, С. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1979 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr31009440000 | ||
| 005 | 20210129135324.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070619d1979 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Алгоритмизация этапа отработки технологического процесса напыления тонких пленок в производстве гибридных интегральных схем РЭА $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.12.13) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 14 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Снедков $b С. В. $g Сергей Владимирович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070619 $g psbo |