Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок поведенной мощности: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.05) / Львов. политехн. ин-т им. Ленин. Комсомола
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Смолин, В. К. |
Опубликовано: | Львов , 1991 |
Физические характеристики: |
17 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr30978970000 | ||
005 | 20070619190859.0 | ||
100 | # | # | $a 20070619d1991 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a UA |
200 | 1 | # | $a Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок поведенной мощности $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.05) $f Львов. политехн. ин-т им. Ленин. Комсомола |
210 | # | # | $a Львов $d 1991 |
215 | # | # | $a 17 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-17 (29 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.27.05 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Смолин $b В. К. $g Валентин Константинович |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070619 $g psbo |