Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге: Автореф. дис. на соиск. учен. сте-пени канд. техн. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Смирнова, Н. Б. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30966440000 | ||
| 005 | 20070622194111.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070622d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Особенности поведения примесей в кремнии при их введении ионной имплантацией и последующем отжиге $e Автореф. дис. на соиск. учен. сте-пени канд. техн. наук $e (01.04.10) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Для служеб. пользования. В надзаг.: Моск. ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 26-27 (5 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Смирнова $b Н. Б. $g Нонна Борисовна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070622 $g psbo |