Некоторые физико-химические методы воздействия на электрофизические свойства поверхности германия, кремния и кремниевых полупроводниковых приборов: Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. физ.-мат. наук / АН СССР. Ин-т физ. химии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Смирнов, Г. В. |
| Опубликовано: | М. , 1967 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30926160000 | ||
| 005 | 20070619185851.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [67-73650] |
| 100 | # | # | $a 20070619d1967 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Некоторые физико-химические методы воздействия на электрофизические свойства поверхности германия, кремния и кремниевых полупроводниковых приборов $e Автореферат дисс. на соискание учен. степени канд. физ.-мат. наук $f АН СССР. Ин-т физ. химии |
| 210 | # | # | $a М. $d 1967 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 700 | # | 1 | $a Смирнов $b Г. В. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070619 $g psbo |