Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН КазССР, Ин-т физики высок. энергий
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Смирнов, В. В. |
| Опубликовано: | Алма-Ата , 1988 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||