Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний: (01.04.07): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН КазССР, Ин-т физики высок. энергий
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Смирнов, В. В. |
| Опубликовано: | Алма-Ата , 1988 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30921850000 | ||
| 005 | 20070619185851.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [88-14912а] |
| 100 | # | # | $a 20070619d1988 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a KZ |
| 200 | 1 | # | $a Особенности имплантации молекулярных ионов в кремний $e (01.04.07) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН КазССР, Ин-т физики высок. энергий |
| 210 | # | # | $a Алма-Ата $d 1988 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 14-15 (10 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Смирнов $b В. В. $g Владимир Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070619 $g psbo |