|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr30726950000 |
| 005 |
20070618183844.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [79-11099]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070618d1979 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Управление технологическими процессами производства полупроводниковых приборов
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Энергия
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 209 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 202-207 (104 назв.)
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые приборы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Сироткин
$b В. С.
$g Валерий Степанович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Пресс
$b Ф. П.
$g Феликс Павлович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070618
$g psbo
|
