Исследование технологии изготовления элементов интегральных схем осаждением слоев из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13)
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Сержантов, А. М. |
| 出版: | М. , 1979 |
| 實物描述: |
23 с.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||