Синтез и исследование тонких окисных слоев на поверхности кремния: (073): Автореф. дис. на соискание учен. степени канд. хим. наук / Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Свешникова, Г. В. |
| Опубликовано: | Л. , 1971 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30294910000 | ||
| 005 | 20070612191618.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [71-14173а] |
| 100 | # | # | $a 20070612d1971 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Синтез и исследование тонких окисных слоев на поверхности кремния $e (073) $e Автореф. дис. на соискание учен. степени канд. хим. наук $f Ленингр. технол. ин-т им. Ленсовета |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1971 |
| 215 | # | # | $a 14 с. |
| 686 | # | # | $a 073 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Свешникова $b Г. В. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070612 $g psbo |