Свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученного магнетронным распылением на постоянном токе: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН ТССР, физ.-техн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: 172926/91,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сванбаев, Е. А.
Опубликовано: Ашхабад , 1991
Физические характеристики: 18 с.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr30273530000
005 20131203092115.0
100 # # $a 20070612d1991 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a TM 
200 1 # $a Свойства пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученного магнетронным распылением на постоянном токе  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук  $e (01.04.10)  $f АН ТССР, физ.-техн. ин-т 
210 # # $a Ашхабад  $d 1991 
215 # # $a 18 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 17-18 (5 назв.) 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6726825  $a ГИДРИРОВАННЫЙ АМОРФНЫЙ КРЕМНИЙ  $2 DVNLB 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Сванбаев  $b Е. А.  $g Елдос Абугалиевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070612  $g psbo