Разработка и исследование технологических процессов прецизионного формирования микрорисунков пассивной части БИС и СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса

Сохранено в:
Шифр документа: 58351/88СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Сарапинас, Й. А.
Опубликовано: Каунас , 1988
Физические характеристики: 25 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr30186000000
005 20070612194157.0
100 # # $a 20070612d1988 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a LT 
200 1 # $a Разработка и исследование технологических процессов прецизионного формирования микрорисунков пассивной части БИС и СБИС  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.27.06)  $f Каунас. политехн. ин-т им. А. Снечкуса 
210 # # $a Каунас  $d 1988 
215 # # $a 25 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 23-25 (20 назв.). Для служеб. пользования 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Сарапинас  $b Й. А.  $g Йонас Антанович 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070612  $g psbo