Исследование структуры окисных пленок на кремнии: (01.046): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук / Воронеж. политехн. ин-т

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ218548,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Самсонов, С. С.
Опубликовано: Воронеж , 1973
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr30134300000
005 20070612175959.0
021 # # $a RU  $b [73-22187а] 
100 # # $a 20070612d1973 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование структуры окисных пленок на кремнии  $e (01.046)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. физ.-мат. наук  $f Воронеж. политехн. ин-т 
210 # # $a Воронеж  $d 1973 
215 # # $a 17 с. 
300 # # $a Список работ авт.: с. 16 (7 назв.) 
686 # # $a 01.046  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Самсонов  $b С. С.  $g Сергей Сергеевич 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070612  $g psbo