Разработка автоматизированной подсистемы выбора параметров оборудования на ранних стадиях проектирования: (На прим. полупроводникового пр-ва) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.12) / Воронеж. технол. ин-т НИИ полупроводникового машиностроения
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Самойлов, В. М. |
Опубликовано: | Воронеж , 1984 |
Физические характеристики: |
17 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr30109340000 | ||
005 | 20070612175414.0 | ||
100 | # | # | $a 20070612d1984 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Разработка автоматизированной подсистемы выбора параметров оборудования на ранних стадиях проектирования $e (На прим. полупроводникового пр-ва) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.12) $f Воронеж. технол. ин-т НИИ полупроводникового машиностроения |
210 | # | # | $a Воронеж $d 1984 |
215 | # | # | $a 17 с. |
300 | # | # | $a Библиогр.: с. 16-17 (10 назв.). Для служеб. пользования |
686 | # | # | $a 05.13.12 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Самойлов $b В. М. $g Валерий Матвеевич |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070612 $g psbo |