Физические процессы в структурах металл - нитрид кремния - двуокись кремния - полупроводник: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ435345,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Садыгов, З. Я.
Опубликовано: М. , 1982
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr30006870000
005 20070612173452.0
021 # # $a RU  $b [82-8051а] 
100 # # $a 20070612d1982 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Физические процессы в структурах металл - нитрид кремния - двуокись кремния - полупроводник  $e (01.04.10)  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук 
210 # # $a М.  $d 1982 
215 # # $a 20 с. 
300 # # $a В надзаг.: АН СССР, Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева. Библиогр.: с. 18-20 (6 назв.) 
686 # # $a 01.04.10  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Садыгов  $b З. Я.  $g Зираддин Ягуб-оглы 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070612  $g psbo