Физические процессы в структурах металл - нитрид кремния - двуокись кремния - полупроводник: (01.04.10): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Садыгов, З. Я. |
Опубликовано: | М. , 1982 |
Физические характеристики: |
20 с.
|
Язык: | Русский |
00000nam0a22000001ia4500 | |||
001 | BY-NLB-rr30006870000 | ||
005 | 20070612173452.0 | ||
021 | # | # | $a RU $b [82-8051а] |
100 | # | # | $a 20070612d1982 y0rusy50 ca |
101 | 0 | # | $a rus |
102 | # | # | $a RU |
200 | 1 | # | $a Физические процессы в структурах металл - нитрид кремния - двуокись кремния - полупроводник $e (01.04.10) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук |
210 | # | # | $a М. $d 1982 |
215 | # | # | $a 20 с. |
300 | # | # | $a В надзаг.: АН СССР, Физ. ин-т им. П. Н. Лебедева. Библиогр.: с. 18-20 (6 назв.) |
686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
700 | # | 1 | $a Садыгов $b З. Я. $g Зираддин Ягуб-оглы |
801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070612 $g psbo |