Исследование процессов плазмохимического осаждения и травления диэлектрических пленок SiO₂ и BN: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.18)
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Савельев, А. А. |
| Publicado: | М. , 1980 |
| Descripción Física: |
29 с.
|
| Lenguaje: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||