Разряд с горячим полым катодом и его использование в химико-спектральных методах анализа объектов микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.02)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Сабатовская, В. Л. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1980 |
| Физические характеристики: |
24 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||