Закономерности формирования электрофизических свойств толстых пленок на основе тугоплавких боридов и оксидов и разработка с их использованием новых материалов для микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (01.04.07) / АН УССР, Ин-т проблем материаловедения им. И. Н. Францевича
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Рудь, Б. М. |
| Publié: | Киев , 1990 |
| Description matérielle: |
36 с.
|
| Langue: | Russe |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||